当施設をご利用いただきました、株式会社SCREENホールディングス 佐々木悠太氏らの論文が「PPLIED NANO MATERIALS」に掲載され、本学よりプレスリリースされました。
“Liquid-Cell Transmission Electron Microscopy Observation of Two-Step Collapse Dynamics of Silicon Nanopillars on Evaporation of Propan-2-ol: Implications for Semiconductor Integration Density”
Yuta Sasaki, Tomoya Yamazaki and Yuki Kimura
ACS Appl. Nano Mater. 2022, 5, 7, 9495–9502