概要
物質の表面に細く絞った電子線を照射し、そこから発生する二次電子を計測することで、物質の表面を観察する装置。
仕様
- 装置名：日本電子(株)製 JSM-6500F
- 加速電圧：0.5～30kV
- 倍率：×10〜500,000
- 像分解能：1.5nm（15kV）, 5.0nm（1kV）
- 照射電流：1pA〜200nA
- 像の種類：二次電子像
- 分析機能：EBSD
場所
材料化学実験棟1階 MC-012
動画
[小さい試料ホルダーのセット方法 / how to set small sample holder] https://youtu.be/aBSbZFINi4s
[試料ホルダーのセット方法 / how to set big sample holder] https://youtu.be/Yqsr_YYH6a8
[試料交換マニュアル / how to exchange sample] https://youtu.be/UJJEJ2jCOzM