概要
物質の表面に細く絞った電子線を照射し、そこから発生する二次電子を計測することで、物質の表面を観察する装置。
仕様
- 装置名 [日本電子(株)製 JSM-6500F]
- 加速電圧 0.5～30kV
- 倍率 ×10〜500,000
- 像分解能 1.5nm（15kV）,5.0nm（1kV）
- 照射電流 1pA〜200nA
- 像の種類 二次電子像
- 分析機能 EDS,EBSD
動画
[小さい試料ホルダーのセット方法 / how to set small sample holder] https://youtu.be/aBSbZFINi4s
[試料ホルダーのセット方法 / how to set big sample holder] https://youtu.be/Yqsr_YYH6a8
[試料交換マニュアル / how to exchange sample] https://youtu.be/UJJEJ2jCOzM