概要
ショットキー形SEMとHigh Power FIBカラムを搭載した複合ビーム加工観察装置。FIBによる微細加工、TEM用試料作製、SEMによる観察・分析、それらを組み合わせた三次元構造解析が行える。
装置名 [日本電子(株)製 JIB4600F]
FIB（収束イオンビーム）
- イオン源 Ga液体金属イオン源
- 加速電圧 1〜30kV
- 倍率 ×30(視野探し)、×100〜300,000
- 像分解能 5nm（30kV）
- 最大ビーム電流 60nA（30kV）
SEM（電子ビーム）
- 加速電圧 0.2～30kV
- 倍率 ×50〜1,000,000
- 像分解能 1.2nm（30kV）,3.0nm（1kV）
- 最大ビーム電流 200nA
- 分析機能 EDS [日本電子(株)製 JED-2300], EBSD[(株)TSLソリューションズ製]
動画
[FIB-SEM 試料台への試料貼り付けおよび試料ホルダのセット方法 / how to paste sample and to set specimen holder]
https://studio.youtube.com/video/d-JtpxORxKc/edit
[FIB-SEM 試料挿入・ユーセントリック位置合わせ・デポジション・粗加工 / insert sample, eucentric adjustment, deposition and rough millinng ]
https://www.youtube.com/watch?v=uWBC40VgQQ4