FIB-SEM

概要

ショットキー形SEMとHigh Power FIBカラムを搭載した複合ビーム加工観察装置。
FIBによる微細加工、TEM用試料作製、SEMによる観察・分析、それらを組み合わせた三次元構造解析が行える。

 

仕様

装置名:日本電子(株)製 JIB4600F

〇FIB(収束イオンビーム)

  • イオン源 Ga液体金属イオン源
  • 加速電圧 1〜30kV
  • 倍率 ×30(視野探し)、×100〜300,000
  • 像分解能 5nm(30kV)
  • 最大ビーム電流 60nA(30kV)

〇SEM(電子ビーム)

  • 加速電圧 0.2~30kV
  • 倍率 ×50〜1,000,000
  • 像分解能 1.2nm(30kV), 3.0nm(1kV)
  • 最大ビーム電流 200nA
  • 分析機能 EDS [日本電子(株)製 JED-2300], EBSD[(株)TSLソリューションズ製]

 

場所

材料化学棟2階 MC-210

 

動画

[FIB-SEM 試料台への試料貼り付けおよび試料ホルダのセット方法 / how to paste sample and to set specimen holder]
https://studio.youtube.com/video/d-JtpxORxKc/edit

[FIB-SEM 試料挿入・ユーセントリック位置合わせ・デポジション・粗加工 / insert sample, eucentric adjustment, deposition and rough millinng ]
https://www.youtube.com/watch?v=uWBC40VgQQ4