概要
物質の表面に細く絞った電子線を照射し、そこから発生する特性X線を計測することで、物質がどんな元素から構成されているかを分析する装置。
仕様
- 装置名 [日本電子(株)製 JXA-8530F]
- 分析元素範囲 WDS：B～U
- X線分光器数 WDS：4基
- 最大試料寸法 100mm × 100mm × 50mm (H)
- 加速電圧 1～30 kV
- 照射電流範囲 10-12～ 5×10-7 A
- 二次電子分解能 3 nm (W.D. 11 mm, 30 kV)
- 分析条件最小プローブ径 40 nm (10 kV, 1×10-8 A),100 nm (10 kV, 1×10-7 A)
- 走査倍率 × 40 ～ × 300,000 (W. D. 11 mm)
動画
[EPMA試料交換棒の操作 / how to handle the specimen exchange rod]
https://www.youtube.com/watch?v=nBIfzTIUpuY
[EPMA試料のセッティング方法 -樹脂埋め試料- / how to set resin-embedded sample]
https://www.youtube.com/watch?v=gOl4hMqmnos