概要
細く絞った電子線を試料の表面に照射し、発生する特性X線を計測することで構成元素を分析する装置。
仕様
- 装置名：日本電子(株)製 JXA-8530F
- 分析元素範囲：WDS B～U
- X線分光器数：WDS 4基
- 最大試料寸法：100mm × 100mm × 50mm (H)
- 加速電圧：1～30 kV
- 照射電流範囲：10-12～ 5×10-7 A
- 二次電子分解能：3 nm (W.D. 11 mm, 30 kV)
- 分析条件最小プローブ径：40 nm (10 kV, 1×10-8 A), 100 nm (10 kV, 1×10-7 A)
- 走査倍率：× 40 ～ × 300,000 (W. D. 11 mm)
場所
材料化学棟2階 MC-211
動画
[EPMA試料交換棒の操作 / how to handle the specimen exchange rod]
https://www.youtube.com/watch?v=nBIfzTIUpuY
[EPMA試料のセッティング方法 -樹脂埋め試料- / how to set resin-embedded sample]
https://www.youtube.com/watch?v=gOl4hMqmnos