Vacuum Deposition Equipment

概要

走査電子顕微鏡などの非導伝性材試料のカーボン膜コーティングの作製が行える。

 

仕様

• 到達圧力：3×10-4Pa 以下
• 圧力測定：ペニング真空計及びピラニ真空計
• ベルジャ：内径 240mm×内部高さ 270mm ガラス製
• 油拡散ポンプ：420L/s 水冷バッフル付
• 油回転ポンプ：100L/min

 

場所

材料化学実験棟2階 MC-020