Vacuum Deposition Equipment

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概要

走査電子顕微鏡などの非導伝性材試料のカーボン膜コーティング、各種金属蒸着膜の作製が行える。

仕様

  • 到達圧力　3×10-4Pa 以下
  • 圧力測定　ペニング真空計及びピラニ真空計
  • ベルジャ　内径 240mm×内部高さ 270mm ガラス製
  • 油拡散ポンプ　420L/s 水冷バッフル付
  • 油回転ポンプ　100L/min