概要
Arイオンビームを照射し電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。
仕様
- 装置名 [日本電子(株)製 EM-09100IS]
- イオン加速電圧 1〜8kV
- 傾斜角 最大±6度(0.1ステップ)
- ビーム径 500μm(FWHM)
- エッチングレート 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算)
- 使用ガス アルゴンガス
- 試料サイズ 2.8mm(長さ)×0.5mm(幅)×0.1mm(厚さ)
- 主排気装置 ターボ分子ポンプ
- CCDカメラ 内蔵
Just another WordPress site
Arイオンビームを照射し電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。