イオンスライサー

 

概要

Arイオンビームを照射し電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。

 

仕様

• 装置名：日本電子(株)製 EM-09100IS
• イオン加速電圧：1〜8kV
• 傾斜角：最大±6度（0.1ステップ）
• ビーム径：500μm（FWHM）
• エッチングレート：5μm/min（加速電圧：8kV、Si換算）
• 使用ガス：アルゴンガス
• 試料サイズ：2.8mm（長さ）×0.5mm（幅）×0.1mm（厚さ）
• 主排気装置：ターボ分子ポンプ
• CCDカメラ：内蔵

 

場所

材料化学棟1階 MC-113