Ion Slicer

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概要

Arイオンビームを照射し電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。

仕様

  • 装置名　[日本電子(株)製 EM-09100IS]
  • イオン加速電圧　1〜8kV
  • 傾斜角　最大±6度（0.1ステップ）
  • ビーム径　500μm（FWHM）
  • エッチングレート　5μm/min（加速電圧：8kV、Si換算）
  • 使用ガス　アルゴンガス
  • 試料サイズ　2.8mm（長さ）×0.5mm（幅）×0.1mm（厚さ）
  • 主排気装置　ターボ分子ポンプ
  • CCDカメラ　内蔵