Ion Slicer

概要

Arイオンビームを照射し電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。

仕様

  • 装置名 [日本電子(株)製 EM-09100IS]
  • イオン加速電圧 1〜8kV
  • 傾斜角 最大±6度(0.1ステップ)
  • ビーム径 500μm(FWHM)
  • エッチングレート 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算)
  • 使用ガス アルゴンガス
  • 試料サイズ 2.8mm(長さ)×0.5mm(幅)×0.1mm(厚さ)
  • 主排気装置 ターボ分子ポンプ
  • CCDカメラ 内蔵