クロスセクション　ポリッシャ

概要

ブロードなAr+イオンビームと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置。

 

仕様

• 装置名：日本電子(株)製　SM-09010
• イオン加速電圧：2〜6kV
• ビーム径：500μm（FWHM）
• ミリングスピード：0.45μm/min（FWHM）
• 最大試料サイズ：11mm（幅）× 10mm（幅）× 2mm（厚）
• 使用ガス：アルゴンガス
• 主排気装置：ターボ分子ポンプ

 

場所

材料化学実験棟1階 MC-012