クロスセクション　ポリッシャ

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概要

ブロードなAr+イオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置。

仕様

  • 装置名　[日本電子(株)製　SM-09010]
  • イオン加速電圧　2〜6kV
  • ビーム径　500μm（FWHM）
  • ミリングスピード　0.45μm/min（FWHM）
  • 最大試料サイズ　11mm（幅）× 10mm（幅）× 2mm（厚）
  • 使用ガス　アルゴンガス
  • 主排気装置　ターボ分子ポンプ