概要
薄膜や粉末の試料に電子線をあて、透過した電子線を結像し、試料の内部を観察する装置。
仕様
- 装置名：日本電子(株) JEM2010X
- 電子銃：LaB6フィラメント
- 加速電圧 ：200kV
- 高分散電子回折カメラ長：4〜80cm, 14ステップ
- 制限視野電子回折カメラ長：8〜200cm
- ローテンションフリー電磁6段結像 対物、OM、第1〜3中間、投影レンズ
- 対物絞り：5, 20, 60, 120μmφ
- 制限視野絞り：10, 20, 50, 100μmφ
- 試料傾斜：±20度
- CCDカメラ ボトムマウントカメラ Cantega-G2 2k x 2k (OLYMPUS)
場所
材料化学棟1階 MC-113