![](/wp-content/uploads/2024/06/Gentle-Mill-300x225.jpg)
概要
低エネルギーのArブロードビームによるイオンミリングが可能で、透過電子顕微鏡観察用試料の前処理に用いる。
仕様
- イオン銃:熱陰極式
- 加速電圧:0.1 kV ~ 1 kV
- ビーム径(FWHM):750~ 1,200μm
- 最大イオンビーム電流密度:10 mA/cm2
- ビームカレント:5 ~ 80 μA
- 観察:x50 ~ x400 CCDカメラ
場所
材料化学棟1階 MC-113
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低エネルギーのArブロードビームによるイオンミリングが可能で、透過電子顕微鏡観察用試料の前処理に用いる。
材料化学棟1階 MC-113