Gentle Mill

概要

低エネルギーのArブロードビームによるイオンミリングが可能で、透過電子顕微鏡観察用試料の前処理に用いる。

 

仕様

• イオン銃：熱陰極式
• 加速電圧：0.1 kV ~ 1 kV
• ビーム径(FWHM)：750~ 1,200μm
• 最大イオンビーム電流密度：10 mA/cm2
• ビームカレント：5 ~ 80 μA
• 観察：x50 ~ x400 CCDカメラ

 

場所

材料化学棟1階 MC-113