FE-SEM / EBSDカメラの故障について

FE-SEM付属のEBSDについて、カメラに付属しているベローズの経年劣化が原因で、真空リークを起こしていることが判明しました。
電子線が照射できない状態であったため、緊急でEBSDカメラを取り外しました。
SEMとEDSは通常通り使用可能です。
＊EBSDの修理期間については、決まり次第お知らせします。