FE-SEM付属のEBSDについて、カメラに付属しているベローズの経年劣化が原因で、真空リークを起こしていることが判明しました。
電子線が照射できない状態であったため、緊急でEBSDカメラを取り外しました。
SEMとEDSは通常通り使用可能です。
*EBSDの修理期間については、決まり次第お知らせします。
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FE-SEM付属のEBSDについて、カメラに付属しているベローズの経年劣化が原因で、真空リークを起こしていることが判明しました。
電子線が照射できない状態であったため、緊急でEBSDカメラを取り外しました。
SEMとEDSは通常通り使用可能です。
*EBSDの修理期間については、決まり次第お知らせします。